Procesy utleniania termicznego

Oferujemy proces utleniania dużych partii podłoży krzemowych w kontrolowany i powtarzalny sposób. Możliwość otrzymywania dobrej jakości tlenków termicznych w zakresie grubości od pojedynczych nanometrów do mikrometrów. W ramach usługi oferujemy:

• utlenianie mokre w temperaturze do 1 200°C,
• utlenianie suche przy niskim przepływie tlenu w temperaturze do 1 000°C,
• możliwość procesowania w powtarzalny sposób dużych partii w jednym procesie: 25 podłóż o średnicy 200 mm oraz 50 podłóż o średnicy 100 mm/4” i 150 mm/6’’.

Słowa kluczowe: utlenianie, utlenianie termiczne, utlenianie suche, utlenianie mokre, kontrolowane utlenianie, tlenki

kontakt: uslugi.cezamat@pw.edu.pl