Dyfuzja wysokotemperaturowa

Oferujemy wykonanie procesu dyfuzji do zastosowań w mikro- i nanoelektronice, fotonice czy fotowoltaice oraz mikromechanice. W ramach usługi możliwe jest:

• prowadzenie dyfuzji boru w temperaturze do 1 000°C,
• procesowanie w powtarzalny sposób dużych partii w jednym procesie: 25 podłóż o średnicy 200 mm/8’’ oraz 50 podłóż o średnicy 100mm/4’’ i 150 mm/6’’.

Słowa kluczowe: dyfuzja boru, dyfuzja wysokotemperaturowa, proces dyfuzji

kontakt: uslugi.cezamat@pw.edu.pl